Trifluorura de azot (NF3) Gaz de înaltă puritate
Informații de bază
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Ce este acest material?
Trifluorura de azot (NF3) este un gaz incolor și inodor la temperatura camerei și presiunea atmosferică. Poate fi lichefiat sub presiune moderată. NF3 este stabil în condiții normale și nu se descompune ușor. Cu toate acestea, se poate descompune atunci când este expus la temperaturi ridicate sau în prezența anumitor catalizatori. NF3 are un potențial ridicat de încălzire globală (GWP) atunci când este eliberat în atmosferă.
Unde sa folosesti acest material?
Agent de curățare în industria electronică: NF3 este utilizat pe scară largă ca agent de curățare pentru îndepărtarea contaminanților reziduali, cum ar fi oxizii, de pe suprafețele semiconductoarelor, panourilor de afișare cu plasmă (PDP) și ale altor componente electronice. Poate curăța eficient aceste suprafețe fără a le deteriora.
Gaz de gravare în fabricarea semiconductoarelor: NF3 este utilizat ca gaz de gravare în procesul de fabricație a semiconductorilor. Este deosebit de eficient în gravarea dioxidului de siliciu (SiO2) și a nitrurii de siliciu (Si3N4), care sunt materiale comune utilizate în fabricarea circuitelor integrate.
Producția de compuși cu fluor de înaltă puritate: NF3 este o sursă valoroasă de fluor pentru producerea diferiților compuși care conțin fluor. Este folosit ca precursor în producția de fluoropolimeri, fluorocarburi și produse chimice de specialitate.
Generarea de plasmă în producția de afișaje cu ecran plat: NF3 este utilizat împreună cu alte gaze pentru a crea plasmă în producția de afișaje cu ecran plat, cum ar fi afișajele cu cristale lichide (LCD) și PDP-urile. Plasma este esențială în procesele de depunere și gravare în timpul fabricării panourilor.
Rețineți că aplicațiile și reglementările specifice pentru utilizarea acestui material/produs pot varia în funcție de țară, industrie și scop. Urmați întotdeauna instrucțiunile de siguranță și consultați un expert înainte de a utiliza acest material/produs în orice aplicație.
